반도체 식각장비용 부품인 '포커스 링' 관련주에 대해 알아보겠습니다. 포커스 링은 식각장비에 사용되는 소모성 부품으로 비교적 안정적인 매출을 기대할 수 있는 분야입니다. 포커스 링의 시장규모는 약 1조 2000억 규모로 추정되며 반도체의 초정밀, 고도화로 인해 포커스 링의 교체주기가 빨라지고 있는 만큼 앞으로 수요는 늘어날 것으로 전망되고 있습니다.
포커스 링(Focus Ring)
▶ 역할
포커스 링은 반도체 식각(Dry etching) 공정에서 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 균일한 플라즈마 밀도유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는 역할을 수행합니다. 포커스 링의 마모 상태에 따라 식각공정의 수율이 달라지기 때문에 핵심 부품으로 꼽히고 있습니다.
▶ 주요 소재
주요 소재로는 쿼츠, 실리콘(Si), 실리콘 카바이드(SiC) 등이 있습니다. 쿼츠의 경우 주로 D램과 시스템반도체용 식각에 사용되고, SiC는 주로 낸드플래시에 사용됩니다. 최근에는 기존 천연쿼츠의 단점을 보완한 합성쿼츠, 비정질 세라믹을 활용한 아이코닉 등이 개발되었으며 SiC 보다 경도가 높은 보론카바이드(B4C)를 소재로 한 포커스 링 개발이 진행되고 있습니다.
▶ 특징
공정상 하이 파워 플라즈마(High Power Plasma)라는 극한 환경에 노출되어 쉽게 마모·부식이 진행되기 때문에 주기적인 교체가 필요한 소모성 부품이며 그만큼 제품 개발이 완료될 경우 꾸준한 매출을 기대할 수 있는 특징이 있습니다.
포커스 링 관련주
포커스 링 및 관련 소재 사업을 영위하고 있는 기업 9곳에 대해 알아보겠습니다.
1. 티씨케이
■ 관련 사업
- SiC 포커스 링 1위 업체
- 비포마켓 업체로 SiC 포커스링을 TEL(도쿄일렉트론), 어플라이드머터리얼즈, 램리서치 등 글로벌 식각 장비사를 거쳐 엔드유저에게 간접 공급 하고 있음
- 지난해 342억 규모 생산설비 증설 투자를 진행함
■ 재무 정보
- 시총 1조 1815억
- 22년 3분기 매출 822억, 영업이익 351억, 당기순이익 251억 (부채비율 10%, 유보율 6693%)
2. 하나머티리얼즈
■ 관련 사업
- 애프터마켓 업체로 Si 및 SiC 포커스링을 엔드유저에게 직접 납품하고 있음
- 지난해 1000억 규모 신규 생산 설비 투자를 진행함
■ 재무 정보
- 시총 7348억
- 22년 3분기 매출 710억, 영업이익 219억, 당기순이익 191억 (부채비율 77%, 유보율 2779%)
3. 케이엔제이
■ 관련 사업
- 애프터마켓 업체로 SiC 포커스링을 엔드유저에게 직접 납품하고 있음
- 지난해 80억 규모 생산 설비 증설 투자를 진행함
■ 재무 정보
- 시총 1108억
- 22년 3분기 매출 269억, 영업이익 67억, 당기순이익 75억 (부채비율 97%, 유보율 1333%)
4. 에스티아이
■ 관련 사업
- 광섬유 모재설비 전문 기업으로 지난해 반도체 포커스 링용 합성쿼츠의 국산화에 성공함
■ 재무 정보
- 시총 1955억
- 22년 3분기 매출 1206억, 영업이익 106억, 당기순이익 139억 (부채비율 58%, 유보율 2857%)
5. 비씨엔씨
■ 관련 사업
- 반도체 장비 부품 및 신소재 개발 업체로 쿼츠 소재 포커스 링(부품) 및 합성쿼츠(소재)를 공급하고 있음
- 지난해 기존 대비 업그레이 된 합성쿼츠(QD9+)의 국산화 개발에 성공하였으며 올해 1분기 본격적인 양산 및 공급을 준비하고 있음
- 올해 하반기 양산 개시를 목표로 보론카바이드(B4C)를 활용한 식각공정용 신소재 'CD9'의 개발을 진행 중에 있음
■ 재무 정보
- 시총 1800억
- 22년 3분기 매출 214억, 영업이익 38억, 당기순이익 32억 (부채비율 54%, 유보율 1013%)
6. 월덱스
■ 관련 사업
- 반도체 식각공정 소재·부품 공급 업체로 Si 및 쿼츠 기반 포커스 링을 생산
- 지난해 경북 구미 공장 2개 동의 신축을 완료했으며 일부 라인을 가동하고 있음
- 삼성전자와 함께 실리콘 전극, 아우터, 포커스 링 등 고순도 소모품 국산화 개발 사업을 진행 중
■ 재무 정보
- 시총 3352억
- 22년 3분기 매출 639억, 영업이익 138억, 당기순이익 134억 (부채비율 49%, 유보율 2032%)
7. 원익QnC
■ 관련 사업
- 반도체용 쿼츠 전문 기업으로 포커스 링, 챔버 등의 쿼츠 부품을 제조·공급하고 있음
- 지난해 595억 규모 신규 설비 투자를 진행함
■ 재무 정보
- 시총 6717억
- 22년 3분기 매출 2039억, 영업이익 371억, 당기순이익 239억 (부채비율 104%, 유보율 2636%)
8. 한솔아이원스
■ 관련 사업
- 반도체 및 디스플레이 부품 가공 전문 기업으로 비정질 세라믹 기반 포커스 링 소재 '아이코닉'을 제조·공급하고 있음
- 지난해 한솔테크닉스에 인수되면서 한솔아이원스로 사명을 변경함
■ 재무 정보
- 시총 2157억
- 22년 3분기 매출 463억, 영업이익 103억, 당기순이익 98억 (부채비율 35%, 유보율 1293%)
9. 나인테크
■ 관련 사업
- 2021년 중기부 주관 반도체 식각공정 포커스 링 개발 국책과제 사업자로 선정되어 연구 개발을 진행해 왔으며 세라믹을 활용한 포커스 링의 생산을 계획하고 있음
■ 재무 정보
- 시총 1255억
- 22년 3분기 매출 219억, 영업이익 8억, 당기순이익 3억 (부채비율 351%, 유보율 471%)