최근 네덜란드와 반도체 동맹 합의가 이루어지면서 수혜가 전망되고 있는 반도체 EUV 공정 관련주에 대해 알아보도록 하겠습니다.
삼성·ASML 1조원 투자…국내에 R&D센터 만든다
삼성·ASML 1조원 투자…국내에 R&D센터 만든다 , 尹대통령, 네덜란드 국빈 방문 SK는 수소가스 기술 공동개발
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우리나라와 네덜란드 간의 반도체 동맹 합의가 이루어지면서 정부 및 기업 간 협력에 속도가 붙을 것으로 기대되고 있습니다. 정부차원에서는 경제안보·반도체·공급망에 대한 대화체 신설을 합의했습니다. 기업 간에는 삼성전자는 ASML과 '차세대 반도체 제조기술 연구개발센터 설립'에 관한 MOU를 맺고 수도권 지역에 'EUV 공동연구소'를 설립하고 1조 원 규모의 합작 투자로 차세대 노광장비 '하이NA EUV' 개발을 진행한다는 계획을 밝혔습니다. 또한 SK하이닉스는 ASML과 'EUV용 수소가스 재활용 기술 공동개발'에 대한 MOU를 체결하고 EUV 노광 장비 전력 효율성 향상에 대한 연구를 진행할 것으로 알려졌습니다.
특히 이번 방문에서 삼성 이재용 회장과 SK 최태원 회장은 윤대통령과 ASML의 클린룸과 노광장비 제조 시설을 시찰하면서 앞으로 EUV 공정에 대한 ASML과 국내 반도체 제조사 간의 협력이 더욱 탄력을 받을 것으로 기대되고 있습니다.
EUV 공정이란?
EUV 리소그래피(설계된 마스크 패턴을 웨이퍼에 그려내는 작업)는 극단적으로 짧은 파장(13.5 나노미터)의 자외선을 사용하여 반도체 웨이퍼에 매우 작은 패턴을 만들어내는 고급 노광 기술입니다. 이 기술은 기존의 노광 기술보다 훨씬 짧은 파장을 사용하기 때문에 빛의 굴절과 간섭 문제를 효과적으로 극복할 수 있습니다.
EUV 공정은 주로 다음과 같은 단계로 진행됩니다
EUV 노광 작업: 웨이퍼의 특정 영역에 EUV 노광을 적용합니다. EUV 노광장치에서 생성된 극단적으로 짧은 파장의 자외선을 사용하여 반도체 웨이퍼 표면에 미세한 회로 패턴을 전사합니다. EUV 노광장치는 매우 정밀하게 조절되어야 하며, 반도체 웨이퍼의 각 층에 대한 정교한 노광이 이루어져야 합니다.
EUV 레지스트 코팅: EUV 노광을 적용하기 전에 웨이퍼 표면에 EUV 레지스트라 불리는 민감한 화합물을 코팅합니다. 이 레지스트는 노광 후에 노광된 부분과 비노광 된 부분을 구분하는 역할을 합니다.
패턴 전사 및 에칭 단계: EUV 노광에 의해 형성된 레지스트 패턴에 따라 실제 반도체 소자를 만들기 위해 에칭 프로세스를 진행합니다. 에칭은 레지스트를 제거하거나 보호하여 반도체 소자의 정확한 구조를 형성하는 과정입니다.
EUV의 장점:
고해상도 - EUV 노광은 더 작은 회로 패턴을 만들 수 있어 높은 해상도를 제공합니다.
고성능 및 저전력 - 작은 패턴을 통해 더 많은 소자를 웨이퍼에 통합함으로써 고성능 및 저전력 소자를 제조할 수 있습니다. 높은 생산성 - EUV 기술은 고속의 노광 속도를 제공하여 생산성을 향상합니다.
EUV 공정은 최신 반도체 제조에 있어서 필수적인 기술 중 하나로 인정받고 있으며, 이 기술의 발전은 미래 반도체 기술의 향상을 이끌어내고 있습니다.
반도체 EUV 관련주
ASML과의 협력 강화로 EUV 공정 분야에서 수혜가 기대되는 기업 11곳에 대해 살펴보겠습니다.
1. 에프에스티
■ 관련 사업
- 반도체 장비 제조 기업으로 반도체용 펠리클(포토 마스크 보호용 필름) 및 펠리클 검사장비, 칠러 등을 개발 및 공급
- 극자외선 EUV 펠리클 장비를 공급 중
- 삼성전자가 동사의 지분 7%를 보유하고 있음
■ 재무 정보
- 시총 5635억
- 23년 3분기 매출 553억, 영업이익 17억, 당기순이익 -2억 (부채비율 68.3%, 유보율 2195%)
2. 에스앤에스텍
■ 관련 사업
- 반도체용 블랭크 마스크 전문 기업
- 고 투과율(90% 이상)의 펠리클 개발완료 및 양산중
■ 재무 정보
- 시총 9782억
- 23년 3분기 매출 385억, 영업이익 57억, 당기순이익 63억 (부채비율 15.7%, 유보율 1915%)
3. 파크시스템스
■ 관련 사업
- 연구·계측용 원자현미경, EUV 마스크 리페어 장비 등을 개발 및 공급하고 있음
■ 재무 정보
- 시총 1조 1543억
- 23년 3분기 매출 324억, 영업이익 55억, 당기순이익 63억 (부채비율 35.6%, 유보율 3801%)
4. 동진쎄미켐
■ 관련 사업
- 반도체 소재 전문 기업으로 반도체 및 디스플레이 소재를 주력으로 공급하고 있음
- EUV용 포토레지스트 국산화에 성공함
■ 재무 정보
- 시총 1조 9615억
- 23년 3분기 매출 3111억, 영업이익 428억, 당기순이익 324억 (부채비율 96.6%, 유보율 2877%)
5. 디엔에프
■ 관련 사업
- 반도체 소재 전문 기업으로 반도체용 전구체를 주력 제품으로 하고 있으며 EUV용 전구체(프리커서)를 개발함
■ 재무 정보
- 시총 2667억
- 23년 3분기 매출 217억, 영업이익 -22억, 당기순이익 -18억 (부채비율 21.6%, 유보율 2466%)
6. 피에스케이
■ 관련 사업
- 동사는 피에스케이홀딩스에서 전공정 장비 부분만 독립해 설립된 반도체 장비 회사로 드라이 PR(포토레지스트) Strip 장비 글로벌 1위 기업임
■ 재무 정보
- 시총 5967억
- 23년 3분기 매출 940억, 영업이익 255억, 당기순이익 200억 (부채비율 31.4%, 유보율 2453%)
7. 제이아이테크
■ 관련 사업
- 반도체 소재 전문 기업으로 반도체용 전구체(프리커서) 및 포토마스크 케이스를 주력으로 하고있으며 이외 특수가스, 디스필레이용 재료도 생산하고 있음
■ 재무 정보
- 시총 1249억
- 23년 3분기 매출 79억, 영업이익 -3억, 당기순이익 1억 (부채비율 55.9%, 유보율 1857%)
8. 아이엠티
■ 관련 사업
- 레이저와 이산화탄소를 활용한 건식 세정 장비 사업을 영위하고 있음
- 국내 최초로 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 개발에 성공함
■ 재무 정보
- 시총 1390억
- 23년 3분기 매출 12억, 영업이익 -12억, 당기순이익 -10억 (부채비율 16.5%, 유보율 596%)
9. 와이씨켐 (구 영창케미칼)
■ 관련 사업
- 반도체·디스플레이 등 초정밀 산업용 화학소재 전문 기업
- 국내 기업 최초로 극자외선(EUV) 반도체 노광 공정용 린스 개발 진행 중
■ 재무 정보
- 시총 1024억
- 23년 3분기 매출 148억, 영업이익 -23억, 당기순이익 -22억 (부채비율 84.2%, 유보율 526%)
10. 퓨릿
■ 관련 사업
- EUV 공정용 PGMEA(세정액)를 고순도로 정제하는 기술을 보유하고 있으며 반도체 포토레지스트용 전자급에탄올인 EEP 등을 주력으로 생산하고 있음
- PGMEA는 EUV 노광 공정의 핵심소재인 포토레지스트의 주요 원료로 사용됨
■ 재무 정보
- 시총 1882억
- 23년 3분기 매출 315억, 영업이익 35억, 당기순이익 31억 (부채비율 73.9%, 유보율 542%)
11. 한국알콜
■ 관련 사업
- 석유화학 제품 전문 기업으로 주정, 에틸, 부틸, 컬러페이스트 등을 공급하고 있음
- 퓨릿을 자회사로 두고 있음 (지분율 50.07%)
■ 재무 정보
- 시총 2474억
- 23년 3분기 매출 1061억, 영업이익 34억, 당기순이익 40억 (부채비율 27.6%, 유보율 4082%)